研磨

研磨は試料作製の最終工程です。
基本原理は大きいサイズの研磨砥粒から削り始めて、ステップが進む毎に直前の砥粒よりもサイズの小さい砥粒で削って行きます。
材料、部品は最終的に平坦で条痕の無い鏡面に磨くことで顕微鏡解析、硬さ試験、微細構造検査、寸法測定検査などの試料となります。